一、行業簡(jiǎn)介(jiè)
半(bàn)導體、集成電路芯片(piàn)及(jí)封裝、液晶顯(xiǎn)示、高精度線路板、光電器件、各種電子器件、微電(diàn)子(zǐ)工業、大規模、超(chāo)大規模(mó)集成電(diàn)路需用大量的純水、高純水、超純水清洗半成品、成品。集成電路的集成度越高,線寬越窄,對水質的(de)要求也越高(gāo)。目(mù)前我國電子工業部把電子級水質技術分為五個(gè)行業(yè)等級,分別為18MΩ.cm、15MΩ.cm、10MΩ.cm、2MΩ.cm、0.5MΩ.cm,以區分(fèn)不同水(shuǐ)質(zhì)。
二(èr)、應用範(fàn)圍(wéi)
1、電子、電力、電鍍、照明電器、實(shí)驗室、食品、造紙、日化、建材、造(zào)漆、蓄電(diàn)池、化(huà)驗、生物、製藥、石(shí)油、化工、鋼鐵(tiě)、玻璃等領域。
2、化工(gōng)工藝用(yòng)水、化學藥(yào)劑、化妝品等(děng)用純水。
3、單晶矽、半導體晶片切割(gē)製造、半(bàn)導(dǎo)體芯片、半導體封裝 、引線櫃架(jià)、集成電路、液晶(jīng)顯示器、導(dǎo)電(diàn)玻璃、顯像(xiàng)管、線路板、光通信(xìn)、電腦元件、電容器潔淨產品及各種元器件等生產(chǎn)工藝用純水。
三(sān)、工藝簡介
1、係統模塊化設計,共分四部(bù)分:預處理係統、反滲透係統、EDI係統、終端供水係統。
2、預處理係(xì)統主要用來去除原水中的(de)懸浮物、濁度、色度、膠體以(yǐ)及部分有機物,保證產水(shuǐ)符合(hé)反滲透係統的進水水質要(yào)求。
3、反滲透係統主要用來去除原水中溶解性鹽類物質、細菌(jun1)、熱源等,保證產水符合EDI係(xì)統進水水質要求。
4、EDI係統(tǒng)主要用來對反滲透產(chǎn)水進行進一步脫除(chú)溶解性的小分子鹽類物(wù)質,產水達到電阻(zǔ)率達到15MΩ.cm以上。
5、終端供水係統主要是(shì)用(yòng)來將合格水輸送至用水點(diǎn),輸送過程中對EDI產生進行最後的離子交換(huàn)脫鹽,使得產水達到電阻率達到18MΩ.cm以上。
6、整個係統進行集中控製。
四、技術(shù)特色
1、係統模塊化設計,占地麵積小,操作維護方便,安裝方便快捷,整體美觀。
2、整(zhěng)套係(xì)統實現全自動化運行,並且手動與自動自由切換。
3、設備產水水質穩定,運行(háng)連續穩定。
4、係統工藝先進,無需化學藥品再生,無危害性廢液排放。
5、係統節水率高,係統(tǒng)回收率在75%以上。
6、關鍵部位采用在線(xiàn)儀表監測,適時數據上傳。
五、設備參數
1、係統回收率:
超(chāo)濾≥90%
一級反滲(shèn)透≥75%
二級反滲透≥85%
EDI係統≥90%
2、設備產水(shuǐ)符(fú)合《電子超純水國家標準》 (GB/T1144.6.1-1997)或美國半導體工業純水指標。
3、單支膜脫鹽率≥99.5%(水溫25℃)。